Полупроводничка магнетна пумпа

 

ХД100Рполупроводничка магнетна пумпаје професионална опрема за пренос скројена-направљена за индустрију полупроводника. Са структуром магнетног погона без заптивки, обезбеђује нулту цурење и нулту спољну контаминацију током рада, у потпуности испуњавајући захтеве високог{2}} нивоа чистоће у радионицама за производњу полупроводника.

Овлажени делови ове ПТФЕ магнетне пумпе за полупроводнике су направљени од ПТФЕ високе{0}}чистоће, који је отпоран на разне високо корозивне полупроводничке хемикалије без таложења јона или средњег пропуштања. Безбедно преноси специјалне хемикалије као што су раствори за јеткање, раствори за чишћење и реагенси{2}}високе чистоће. Интегрално формирано тело пумпе без мртвог{4}}простора-са високим-сјајном површином омогућава темељно чишћење и ефикасно спречава средње остатке и унакрсну{7}}контаминацију. Као поуздана магнетна пумпа за полупроводничке хемикалије, ради стабилно уз ниске вибрације и подржава 24-континуирани рад. Широко се користи у производњи плочица, паковању чипова и влажним процесима полупроводника, служи као основни уређај за преношење корозивних хемикалија високе чистоће у сектору полупроводника.

 

 

 

 

Модел	Интерфејс цеви		Спирални интерфејсР-М РКС-МРЗ-М		Макс. Капацитет (Л/мин)	Макс. глава (м)	Специфична тежина	Мотор		Тежина (кг)
	Улаз (мм)	Излаз (мм)	Улаз/Излаз	Димензије спојнице (мм)	50Хз/60Хз	50Хз/60Хз		Излаз (в) 50Хз/60Хз	Фаза
ХД100Р	26	26	G1	20	120/135	8.6/11.9	1.2	260/265	1ор3	8.1

 

 

 

 

1. Интегрално формиран ПТФЕ високе-чистоће са одличном отпорношћу на корозију

Овлажени делови ове ПТФЕ магнетне пумпе за полупроводнике су интегрално компресијски-изливени од згуснутог ПТФЕ високе{1}}чистоће. У поређењу са конвенционалним спојеним ПТФЕ пумпама, одликује се знатно побољшаном отпорношћу на продирање високо корозивних хемикалија и већом отпорношћу на притисак. Потпуно је применљив за дуготрајну-испоруку раствора за јеткање високе- концентрације и средства за скидање полупроводника и спречава раслојавање материјала, испупчење и таложење јона.

 

2. Висок-структура протока за стабилну испоруку

Прилагођени хидраулички модул великог{0}}протока је дизајниран за{1}}полупроводничке линије масовне производње. Нуди шири опсег протока и стабилан излаз притиска за снабдевање течности за више мокрих процесних линија истовремено, решавајући проблеме недовољног напона и драстичне флуктуације протока обичних магнетних пумпи у условима високог -протока.

 

3. Потпуно затворен систем магнетног погона са великим-оптерећењем

Ова магнетна пумпа за полупроводничке хемикалије је опремљена побољшаним ојачаним компонентама магнетне спојнице за већи капацитет обртног момента. У комбинацији са потпуно затвореним кућиштем отпорним на прашину и-корозију, он издржава дуготрајан-континуирани рад са пуним-оптерећењем и изолује честице у ваздуху и корозивни гас у радионицама без прашине{4}}како би заштитио делове преноса језгра.

 

4. Дизајн шупљина-великог капацитета-без простора-

Увећана шупљина ХД100Р усваја оптимизовану глатку транзицију без мртвих углова задржавања течности. Његов-унутрашњи зид високог сјаја омогућава брже и темељније чишћење-онлине. Идеалан за наизменично испоруку различитих полупроводничких хемикалија, потпуно избегава ризике од унакрсне{5}}контаминације.

 

5. Структура отпорна на-висок притисак за сложене услове цевовода

Кућиште пумпе и прикључни делови су ојачани за висок притисак, са бољом носивошћу притиска од сличних модела. Прилагођава се сложеним цевоводима,-испорукама на велике удаљености и променљивом притиску у цевоводима у радионицама полупроводника и ради стабилно без цурења или деформација.

 

 

●-Превоз на велике удаљености-флуороводоничне киселине високе концентрације за нагризање плочица

Интегрално компресијски-изливени задебљани ПТФЕ материјал од ХД100Р отпоран је на дуготрајно-пропуштање флуороводоничне киселине, избегавајући раслојавање шкољке и избочење током-превоза под високим притиском-на велике удаљености.

 

● Централизовано снабдевање течностима за паралелне полупроводничке производне линије влажног процеса

Опремљена наменским хидрауличним модулом великог{0}}протока, ова полупроводничка индустријска магнетна пумпа има изузетно ниско слабљење висине испорука и брзине протока. Може стабилно да снабдева течност за више од 3 производне линије за чишћење и нагризање независно, замењујући паралелно коришћење више магнетних пумпи малих{3}}магнетних пумпи.

 

● Наизменични циркулациони транспорт разноврсних кисело{0}}базних хемикалија за полупроводнике

Са проширеном глатком шупљином без мртвог{0}}простора-и високим-сјајним унутрашњим зидом, не оставља остатке хемикалија након чишћења на мрежи, темељно спречавајући унакрсну-контаминацију током наизменичне испоруке раствора за јеткање и средства за скидање, и прилагођавајући се честим радним условима промене хемикалија.

 

 

 

Модел	W	H	L	a	b	c	h	e	f	g	i
ХД100Р	156	174	335	70	100	110	74	65.5	44	147	4-9*27

 

 

 

Popularne oznake: полупроводничка магнетна пумпа, произвођачи полупроводничких магнетних пумпи у Кини, добављачи, фабрика